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行業資訊
在過濾半導體制造用的刻蝕液、剝離液以及液晶電視用的液晶原料時，對濾芯的耐腐蝕及溶出物的要求非常嚴格，由于全氟濾芯耐腐蝕及耐溶出性優良，對過濾介質要求嚴格的電子信息材料和具有腐蝕藥液等過濾制作行業精準適用。下面是不同污染物選擇對應化學品和濾芯的實際應用案例分享。
1、H2SO4/H2O2
利用硫酸及雙氧水的強氧化性和脫水性破壞有機物的碳氫鍵，去除有機不純物。
H2SO4：H2O2=2~4：1,在130度高溫下進行10~15分鐘的浸泡。
2、HF/H2O(DHF)或HF NH4F/H2O(BHF)
清除硅晶圓表面自然生成的氧化層，通常使用稀釋后的氫氟酸（0.49%~2%）或以氫氟酸和氟化銨生成的緩沖溶液。
HF:NH4F=1：200~400，在室溫下進行15~30秒反應
3、NH4OH/H2O2/H2O(SC-1):
利用氨水的弱堿性活化硅晶圓及微粒子表面，使晶圓表面與微粒子間產生相互排斥；雙氧水具有氧化晶圓表面的作用，然后氨水對SiO2進行微刻蝕，去除顆粒
氨水與部分過度金屬離子形成可溶性絡合物，去除金屬不溶物。
H2O:H2O2:NH4OH=5:1:1~7:1:1(H2O2:30%,NH4OH:29%)
4、HCl/H2O2/H2O(SC2):
利用雙氧水氧化污染的金屬，而鹽酸與金屬離子生成可溶性的氯化物而溶解。
HCl/H2O2/H2O=1:1:6~1:2:8，在70度下進行5~10分鐘清洗（HCl:37%,H2O2:30%）
全氟折疊濾芯，通常膜、中心桿及外殼采用PTFE材料,支撐層采用PFA或PTFE材料，PFA為少量全氟丙基全氟乙烯基醚與聚四氟乙烯的共聚物。熔融粘結性增強，溶體粘度下降，而性能與聚四氟乙烯PTFE相比無變化。
PFA和PTFE長期使用溫度-80到260度，有特殊的耐化學腐蝕性，因此全氟折疊濾芯可以滿足最惡劣環境中最嚴格的過濾要求，適用于微電子行業各種強腐蝕性酸、堿、有機溶劑等化學品的過濾。流體動力學設計，使過膜壓差更低，單位面積通量更大。打褶設計使膜面積更大，納污量更高，使用壽命更長。
Dexmet全氟折疊濾芯支撐網，根據特定的材質、過濾精度、材料寬度、材料厚度、開放面積、孔徑及其他特殊工藝，定制最適合其應用的濾膜支撐網。全球為數不多可以穩定生產高純度PFA和PTFE網的廠家，是全氟折疊濾芯Pall、Paker的供應商。（擁有ASTM材料與試驗協會認證，材質純度高達99%以上）通過DB或DDB工藝，確保過濾器應用流量的一致性。根據不同應用，確保過濾器應用流量的一致性。
本文意在傳播新材料資訊，部分圖片來自網絡。
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